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真空镀膜设备厂家
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汽车轮毂专用真空镀膜设备 - 磁控溅射镀膜机
概述
汽车轮毂PVD镀膜专用设备是基于阴极电弧离子蒸发系统和非平衡磁控溅射系统,采用计算机自动控制系统技术,使沉积粒子细化,膜层的各项性能得以提高。
设备广泛运用用于铝合金汽车轮毂镀制:钛、铬、锆、不锈钢、银、铜、铝等复合性金属膜层。
致诚真空科技：磁控溅射镀膜机
| 设备型号:磁控溅射真空镀膜设备 | |
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磁控溅射镀膜机应用于塑料制品、陶瓷、树脂、水晶玻璃制品等、工艺品、塑料手机壳、电子产品、建材等行业。 |
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| 该系列设备主要是使用直流(或中频)磁控溅射，可适应广泛镀膜靶材，如:铜、钛、铬、不绣钢、镍等金属材料， | |
| 可以利用溅射工艺进行镀膜，可提高膜层的附着力、重复性、致密度、均匀度等特点。 | |
| 设备主要参数 | |
| 真空室尺寸: | Φ1000mm 、Φ1200mm 、Φ1400mm 、Φ1600mm 、Φ1800mm 、 Φ2000mm |
| 真空系统: | 旋片泵+罗茨泵+扩散泵+维持泵(或选分子泵、深冷泵、深冷系统) |
| 极限真空: | 6x10-4Pa |
| 工作转动方式 | 多轴行星式公自转、变频调速（可控可调） |
| 冷却方式 | 水冷却循环方式，另配工业冷却水塔或工业冷水机（制冷机）或深冷系统。（客户提供） |
| 控制方式 | PLC+触摸屏操作或计算机控制，手动、半自动、自动方式 |
| 供给指标 | 气压0.5-0.8MPa、水温≤25℃、水压≥0.2MPa |
| 报警及保护 | 对泵和靶等缺水、过流过压、断路等异常情况进行报警、并执行相应保护措施及电气联锁功能 |
| 抽气时间:: | 空载大气抽至5x10-3Pa,>13min |
| 备注： | 以上设备参数仅做参考，具体均按客户实际工艺要求设计定做 |
应用展示：
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