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塑胶(料)薄膜卷材-卷绕式镀膜机

发布时间:2021-05-21阅读量:98
导读:塑胶(料)薄膜卷材-卷绕式镀膜机:致诚真空电镀设备有中频多弧离子镀膜机 、蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机 、磁控蒸发两用镀膜机 、AF镀膜机、超硬质涂层镀膜机。采用在真空条件下,通过蒸馏或溅射等方式在塑件表面沉积各种金属和非金属薄膜 ...

 

高真空卷绕镀膜机
High vacuum winding coating machine

磁控溅射卷绕镀膜机

磁控溅射的构成例

    对树脂基膜等基材以卷到卷方式采用磁控溅射方法形成透明导电膜(ITO,ZnO等)・光学膜(SiO2, SiOx, NbOx等)镀膜的磁控溅射卷绕镀膜机。

    磁控溅射法,采用各种阴极(DC, UBM, DMS,旋转磁石),进行触摸屏・FPD・太阳能电池・窗膜等所必须的透明导电膜(TCO)・光学膜・

    氧化膜・    金属膜的镀膜。

    聚集了从面向R&D・实验性生产的小型装置到面向宽幅・大型卷绕镀膜机,对应柔性电子・能源领域的研究开发直到量产的需求。

 

特征

1.可搭载各种阴极

1)UBMS(非平衡磁控溅射)

    根据非平衡磁场增大基材附近的等离子密度。
    膜表面的能量辅助效果使得薄膜特性提高。

 


BM和UBM的比较

2)DMS(双磁石磁控溅射)

    在镀绝缘膜等反应性磁控溅射镀膜时,将2台磁控溅射蒸发源交替放电,实现长时间稳定放电・高速镀膜。

3)旋转磁石

    利用圆柱靶的圆周,提高材料效率。
    通过投入高能量实现高速镀膜。可以DMS化。

2.前处理机能

    通过脱气,离子源照射・等离子照射实现密着性改善机能。

 

装置阵容

1.面向R&D・实验性生产的卷绕镀膜机

    小型・节省空间
    基膜宽度:350mm(~800mm)
    工艺・可灵活变化
              1 可搭载各种阴极(DC, UBM, DMS,旋转磁石)
              2 前处理机能(改善密着性)
面向R&D・实验性生产的卷绕镀膜机

2.面向量产的磁控溅射卷绕镀膜机

    维护性
    基膜宽:1,300mm、1,600mm(~2,000mm)
    磁控溅射区数:1镀膜滚筒最大4个区,分割区域排气
    充实的脱气机能 面向量产的磁控溅射卷绕镀膜机

 

应用例

1.透明导电膜(ITO,ZnO等)

1)高抵抗ITO膜:面向触摸屏 100~300Ω sq.

    同时具备柔性和低方阻的高稳定性(经时变化小)的非晶质ITO膜的镀膜
高方阻ITO的高稳定性95℃,1000Hr试验

2)低方阻ITO膜:液晶,有机EL 10Ω sq.以下 

     在低温成膜条件下,进行同时具备低方阻(10Ω/□)和柔性的非晶质ITO膜的镀膜。
  (右边表格中的数值为测定案例之一并非为保证值) 低温镀膜所形成的优越的方阻率(UBM/BM比较)
BM:通常的平常磁场(Balanced Magnetron)

3)金属网格:面向触摸屏

Cu网格(铜网格),Ag网格(银网格),Al网格(铝网格) 层构成:密着层,导电层。低反射层(黑化层)

2.窗膜(TiO2, SiO2, Ag, ITO, IZO等的层积膜)

3.电极膜(Cu,Au,Ag,Al,NiCr,Mo等金属膜),绝缘膜(SiO2, SiOx, SiN, SiON), DLC

    面向柔性基材,二次电池,整流器

4.抗菌膜(Ni合金,KENIFINE)

 

基材

         PET, PEN, PES, PI  Al, Cu, SUS箔   柔性玻璃


致诚科技
国际领先水平的镀膜应用解决方案:提供设备、材料、加工、技术、项目配套等系统服务

Zhicheng Technology
International leading solution for coating application:Provide equipment, materials, processing, technology, project supporting system services


本公司可根据用户要求设计各种规格型号的真空镀膜机。
真空机组及电控系统也可根据用户要求进行设计配置。

Our company can design all kinds of vacuum coating machines according to customers' requirements.

The vacuum unit and electric control system can also be designed and configured according to the user's requirements.


致诚真空电镀设备有中频多弧离子镀膜机 、蒸发镀膜机、磁控溅射镀膜机 、磁控蒸发两用镀膜机 、AF镀膜机、超硬质涂层镀膜机。采用在真空条件下,通过蒸馏或溅射等方式在塑件表面沉积各种金属和非金属薄膜。

Zhicheng vacuum plating equipment includes medium frequency multi arc ion coating machine, evaporation coating machine, magnetron sputtering coating machine, magnetron evaporation coating machine, AF coating machine, super hard coating coating machine. Various kinds of metal and nonmetal films were deposited on the surface of plastic parts by distillation or sputtering in vacuum.


致诚科技根据产品的特性匹配最佳的镀膜工艺方案
致诚行业优势特点所在:专业、诚信、可靠。

Zhicheng technology according to the characteristics of products to match the best coating process

Zhicheng industry advantages: professional, honest and reliable.


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